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FBA6432_5轴大气水平多枢纽型单臂双手指晶圆搬运机械人

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FBA6432_5轴大气水平多枢纽型单臂双手指晶圆搬运机械人

FBA6432D_5轴大气水平多枢纽型双臂双手指晶圆搬运机械人,,,自主研发清静可控,,,可周全替换入口品牌。。。。 。。

产品形貌


5轴大气水平多枢纽型单臂双手指晶圆搬运机械人
FBA6432_FBA系列半导体机械人
 
  • 接纳闭环伺服控制
  • 可凭证装备结构定制臂长和Z轴行程
  • 可选配免电池绝对式编码器
  • 可选最后执行器类型:真空吸附式、边沿夹持式

臂长

640mm

额定/最大负载

4kg

搬运物

≤Φ300mm晶圆

威廉希尔williamhill众为兴FBA6432D_5轴大气水平多枢纽型单臂双手指晶圆搬运机械人

要害词:

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规格参数

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