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TBA4030F-07-09_4轴大气圆柱坐标双臂晶圆搬运机械人

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TBA4030F-07-09_4轴大气圆柱坐标双臂晶圆搬运机械人

TBA4030F-07-09_4轴大气圆柱坐标双臂晶圆搬运机械人，，，，自主研发清静可控，，，，可周全替换入口品牌。。。。。

产品形貌

4轴大气圆柱坐标双臂晶圆搬运机械人
TBA4030F-07-09_TBA系列半导体机械人
 
  • ● 接纳闭环伺服控制
  • ● 可凭证装备结构定制臂长及Z轴行程
  • ● 可选配免电池绝对式编码器
  • ● 可选mapping传感器类型：对射式、反射式
  • ●可选最后执行器类型：真空吸附式、夹持式、翻转吸附式

臂长

200/260/320/400mm

  额定/最大负载

 3kg

搬运物

≤Φ300mm晶圆

威廉希尔williamhill众为兴TBA4030F-07-09_4轴大气圆柱坐标双臂晶圆搬运机械人

要害词：

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规格参数

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